Ионный нагрев
При ионном нагреве используется эффект тлеющего разряда постоянного тока между катодом и анодом. В качестве катода используются обрабатываемые детали (валы, шестерни, режущий инструмент и т. п.), а в качестве анода — стенки камеры (печи). При тлеющем разряде обеспечивается одинаковая плотность тока по всей поверхности катода. При давлениях 102—103 Па, т. е. давлениях, значительно меньших атмосферного, основное падение потенциала происходит в прикатодной области разряда толщиной около 1 мм, что и обеспечивает равномерный нагрев поверхности катода.
Ионный нагрев применяют для азотирования деталей машин и инструмента, а также их цементации, нитроцементации и борирования, т. е. для получения износостойких и упрочняющих диффузионных слоев и покрытий.
Схема установки для ионного азотирования показана на рис.5. Установка состоит из двух вакуумных нагревательных камер, источника электропитания, вакуумной системы и газоприготовительной системы. Вакуумные печи работают поочередно. После загрузки деталей в печь (на подвеске) включаются вакуумные насосы и в печи создается необходимое давление. При подаче напряжения на катод и анод печи силу тока доводят до заданной — начинается процесс нагрева поверхностного слоя деталей. При подаче в печь диссоциированного аммиака происходит процесс насыщения поверхности деталей азотом.
Вытяжная вентиляция
Рис.5. Схема установки ионного азотирования ОКБ-1566:
2 — нагревательные камеры; 3 — подвеска для деталей; 4 — термоэлектрический преобразователь; 5 — обрабатываемые детали; 6, 7 — разъединитель; 8 — тиристорный источник питания; 9 — блок измерения и регулирования температуры: 10 — гаэоприго-товнтельаая установка; 11 — вакуумный насос