Інтерференційний метод точних вимірювань лінійних величин

До лінійних вимірювань відносять не тільки вимірювання довжини а й інших: діаметра, кроку різьби, жорсткості і т.п. Для реалізаціїї цих вимірювань використовуються різні методи: механічні, оптико-механічні, індуктивні, ємнісні, радіоізотопні, ультразвукові та ін.

Проте, одним з найбільш точних методів є інтерференційний. Застосування його базується на використанні явища інтерференції світла, тобто на додаванні двох когерентних світлових коливань, що приходять в одну точку з різними фазами коливання.

Картина інтерференції являє собою набір світлих і темних полос, що чергуються, т.я. в одних точках хвилі приходять з різними фазами, а в інших - з однаковими. Різниця фаз цих когерентних коливань (вони формуються одним джерелом світла) цілком визначається тільки оптичною різницею ходу.

На практиці використовують установку, що розкладає монохроматичне випромінення на два когерентні пучки, які проходять різні оптичні шляхи, відбиваюься від дзеркал та приходять в точку інтерференції де розміщено мікроскоп. Одне з дзеркал має можливість переміщення, біля нього і розміщуються об’єкти вимірювання. По формі та кількості ліній у інтерференційній картині визначають довжину об’єкта.

Установки такого типу використовуються для вимірювання еталона метра; для встановлення лінійних розмірів, що використовуються у розрахунковій одиниці ємності - фаради; у еталонному барометрі; у точному приладобудуванні для перевірки площинності та довжин найбільш відповідальних деталей.