Герметизация крышки корпуса

Очистка поверхности кристалла

Специальные вопросы герметизации

Наиболее критичной стадией, которой подвергается кристалл, является очистка перед монтажом, герметизирующим покрытием и окончательной герметизацией крышки корпуса. Процесс очистки должен быть химически совместим с металлическими слоями на поверхности кристалла. При очистке обычно преследуют две цели. Первая - удаление органических частиц, которые могут повлиять на качество соединения; для этого обычно требуются органические растворители. Вторая - удаление ионов, которые вызывают коррозию во время эксплуатации прибора или приводят иногда к накоплению поверхностного заряда. Вода является превосходным растворителем для ионных частиц.

Основной целью герметизации корпуса является защита от внешних загрязнений во время функционирования прибора. Любые загрязнения, присутствующие на поверхности кристалла, должны быть удалены до приемлемого уровня перед герметизацией или во время этой операции. Корпусы могут быть герметизированы стеклом, металлами или полимерами. Использованное здесь определение герметичности подразумевает не только выдерживание испытаний корпусом на вакуумную утечку, но и исключение возможности загрязнения из окружающей среды в течение длительного времени.

Почти для всех высококачественных корпусов герметизацию выполняют стеклом или металлом. Ранее герметизацию стеклом использовали для керамических плоских корпусов с двухрядным расположением вертикальных выводов, где процесс герметизации в основном тот же, что и при герметизации крышки корпуса. Герметизация вакуумно-плотным металлом, исключающая влияние окружающей среды, может быть произведена без особых осложнений. Реальным затруднением является освобождение корпуса от загрязнений, особенно влаги, перед процессом герметизации.

Определенные проблемы могут возникать при низких рабочих температурах, когда происходит конденсация влаги внутри корпуса. Последующие реакции в присутствии небольшого количества галогенов могут привести к коррозии алюминия.