Профилометрия

Задача профилометрии – отобразить и измерить трехмерный рельеф поверхности объектов размерами от нескольких нанометров до нескольких миллиметров.

Поверхностная профилометрия – это совокупность методов непосредственного зондирования поверхности наблюдаемого объекта с целью определение зависимости высоты рельефа поверхности от координаты на плоскости. С точки зрения методов реконструкции трехмерной поверхности – это прямые методы, не требующие практически никаких вычислений.

Профилометры делятся по типу использующегося в них зонда. Так различают механические, оптические и емкостные профилометры.

Профилометр - это прибор для измерения двумерного профиля поверхности образца представления результатов в виде кривой линии - профилограммы, Принцип действия профилометра с механическим зондом - это поступательное перемещение специального зонда (иглы), называемого стилус или индентор, перпендикулярного к поверхности исследуемого объекта и касающегося ее. Перемещения индентора преобразуются оптическим или электрическим способом в электрические напряжения с помощью индуктивных, ёмкостных, пьезоэлектрических или других преобразователей.