Расчет характеристик канала вывода СИ (синхротронного излучения)

Основные свойства синхротронного излучения.

Синхротронное излучение (СИ) испускается заряженными частицами (электронами, протонами, позитронами), движущимися с релятивистскими скоростями по искривлен­ным траекториям. Генерация СИ обусловлена наличием у частицы центростремитель­ного ускорения. Предсказанное в конце прошлого века и открытое почти 50 лет назад (1945г.) СИ рассматривалось вначале как “помеха” в работе циклических ускорителей - синхротронов. Только в последние 10¼15 лет СИ привлекло внимание исследователей исключительным богатством своих специфических свойств и возможностью их примене­ния.

Структура  накопителя электронов.

ПМ - поворотные магниты; В - магнитное поле; Р - вектор поляризации фотонов, излу­чаемых в плоскости орбиты электронов; Щ - щель канала вывода, ограничивающая ширину пучка СИ по горизонтали.

Си обладает следующими уникальными свойствами:

1.y»g^-1, где g - релятивистский фактор (отношение энергии электронов Е в накопителе к энергии покоя электрона Е₀=0.511МэВ); для типичных значений Е»1ГэВ имеем g»10³ и y»1мра¶.

2.¼100нм). Для описания спектральных  свойств СИ вводится понятие крити­ческой длины волны l_с. Это длина волны, которая делит энергетический спектр СИ на две равные части (суммарная энергия излучаемых фотонов с длинами волн меньше l_с равна суммарной энергии фотонов с длинами волн больше l_с).

3.

4.

Перечисленные выше уникальные свойства синхротронного излучения позволяют под­нять на новый качественный уровень субмикронную микротехнологию и аналитические методы диагностики субмикронных функциональных структур.

Контраст в системах экспонирования с применением синхротронного излучения.

Рентгенолитография с применением синхротронного излучения - это многофакторный технологический процесс, в котором важную роль играют параметры многих компонен­тов литографической системы: источника излучения, канала вывода, рентгеношаблона, рентгенорезиста.

Главный фактор, определяющий потенциальные возможности того или иного лито­графического метода в микротехнологии СБИС -  разрешение или минимальный размер надежно воспроизводимого в резисте элемента рентгеношаблона. В рентгенолитографии разрешение определяется, с одной сто