ФОТОШАБЛОН ДУБЛИРОВАННЫЙ
К оглавлению1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 1617 18 19 20 21 22 23 26 27 28 29 30 31 32 33
34 35 36 37 38 39 40 41 42 43 44 45 46 47 48 49 50
51 52 53 54 55
Отделом фотошаблонов разработана конструкция фотошаблонов
повышенной износостойкости. Достоинством конструкции
является малая вероятность повреждения фотошаблонов в процессе
эксплуатации и, как следствие этого, сохранение высокого
качества фотолитографии при контактной печати.
Опыт использования таких фотошаблонов в цехе
для межслойной изоляции ИС подтвердил повышение их срока службы
в 6-8 раз с одновременным повышением выхода годных ИС.
Конструкция фотошаблона представлена на рисунке-5.
Фотошаблон содержит два топологических слоя, разделенным
защитным стеклом, толщиной около 100мкм. При повреждении
поверхностного слоя внутренний слой продолжает осуществлять
функцию маскирования, и дефект на пластину не передается.
Налчие двух маскирующих слоев гарантирует отсутствие
дефектов малых размеров /менее 1,0мкм/, не обнаруживаемых
при контроле фотошаблонов.
Из технологических соображений окна во внутреннем слое
выполнены с увеличением размера на 25-30мкм, что накладывает
ограничение на номенклатуру фотошаблонов, выполняемых в
дублированной конструкции. Наиболее эффективно
использование конструкции для темнопольных фотошаблонов
с большим отношением площади темного поля к площади светлого
/межслойная изоляция, контактные окна, защитные слои и т.п./
Цехом ведется освоение производства дублированных
фотошаблонов.
Рис.5
-----
10-18 мкм
---------
стекло
------
хром
----
защитное стекло
---------------
дефект
------
пластина с
фоторезистором
--------------
выступ
------
Хотелось бы обратить внимание на один важный факт. Нас
иногда наши противники упрекают, что мы с помощью ТРИЗ не
сделали крупных, больших изобретений. Где эта мера? Что есть
большое? Что такое крупное изобретение, а что - мелкое?
Где эта граница?
Если смотреть с точки зрения экономики, то разница есть.
Громадное количество решенных задач дает милионный экономический
эффект. Тем не менее, новые машины, станки, приборы, как
правило, тризовцы не создают. Почему? Это связано со
многими причинами, но не с тем, что нельзя это сделать,
получить решение. Примеры автора ТРИЗ показывают, что
новый ледокол никто даже не хотел обсуждать. А новый метод
изготовления стекла?! Ведь даже не поняли, о чем идет речь!
Тем не менее, предлагается в каждой задаче находить идею
решения на новом принципе,- физическом, химическом,
геометрическом или биологическом.
Если есть возможность, то следует эти идеи столбить -
подавать заявки и рекламировать идеи. Это позволит
показать всю мощность ТРИЗ и ее пользователей.
Пример. Решая задачу по ДФШ, мы вышли на идею
проекционной фотолитографии, но о ней никто и слушать не хотел.
Для того, чтобы понять новое, нужно быть к этому новому,
его восприятию готовым. А это не просто.
И последний штрих. Учение - всегда преодаление себя,
насилие над собой. Можно говорить, не всегда, не со всеми.
Но в большинстве случаев это так. Как сделать так, чтобы
большая часть времени обучения ТРИЗ и последующего ее
применения составляло все же не насилие над собой, а
доставляло желание и радость? Мне кажется, что для этого следует
вызывать у слушателей положительные эмоции, интерес,
соревновательность, поощрение, игру, то есть добиваться в процессе
обучения более естественного решения хода задач, присущего
человеческому мышлению, но в рамках стратегии ТРИЗ.
Можно использовать чувства о которых мы говорили. Это
интерес, желание доказать окружающим свое "я", боязнь,
злость, доверие, оказание помощи ближнему, показать фокус,
сомнение... Все эти чувства, одни сильнее, другие - слабее,
позволяют человеку заставить самого себя решать задачи.
рассмотрим первый пример, как решить задачу с помощью
кругового АРИЗ.
1 2 3 4 5 6 7 8
! ! ! ! ! ! ! !
! ! ! ! ! ! ! !
Сделать рисунок ------------------------ --- 9
и выразить задачу ! задача в ве- ! --- 10
в вепольной форме ! польной форме ! --- 11
!______________________! --- 12
! ! ! ! ! ! ! !
! ! ! ! ! ! ! !
20 19 18 17 16 15 14 13
1. Определить конфликтную пару.
2. Определить ИКР(1), ИКР(2).
3. Определить НЭ и его природу. Сущность процесса, какими
свойствами обладают В1 и В2, взаимодействие.
4. Если есть решение - проверить сверхэффекты.
5. Использовать приемы и найти решение.
6. Использовать оператор РВС.
7. Нарисовать карикатуру.
8. Сформулировать ТП.
9. Оценить сверхэффекты.
10. Сформулировать ТП1 и ТП2.
11. Определить предельные ТП. Возможно ли найти решение
на новом принципе?
12. Какие взаимодействия еще есть ТС?
13. Рассмотреть + и - в альтернативных ТС.
14. Сформулировать ФП1 И ФП2.
15. Использовать стандарты на инструмент, изделие.
16. Решения оценить на сверхэффекты.
17. Метод Колумба или иной другой.
18. Рассмотреть законы.
19. Рассмотреть физические эффекты.
20. Рассмотреть линию развития ТС.
21. Решения оценить на сверхэффекты.
Рассмотрим задачу о тарелках, используемых в качестве
мишений для стрельбы.
Нежелательный эффект. Тарелка или ее части лежат на земле
и ее загрязняют.
КП - тарелка-земля В2-В3
ИКР - тарелка сама исчезает на земле
ИКР - земля сама способствует исчезновению тарелки
ИКР - окружающие тарелку поля - Птепл., Пвл. - сами заставляют
тарелку исчезнуть
- Тарелка не взаимодействует ни с чем, продолжая лежать годы,
т.к. она изготовлена из материала достаточно плотного,
твердого и надежного.
- Какими свойствами может обладать тарелка, кроме как
мишень?
- польза: удобрение для земли; семена трав; нейтральное
вещество; вещество, которое само распадается без вреда для пользы
Из этого перечня появляется мысль о самораспадающейся
тарелке.
- Сформулируем ТП и рассмотрим приемы
ТП-устойчивость состава обьекта - потери времени.
Прием 35 - изменить агрегатное состояние вещества.
Что это?
Все ИКР, свойства и ТП, направляют нашу мысль на изменение
агрегатного состояния. Вообще-то говоря, здесь уже появляется идея -
сделать тарелки из льда или из земли. Идеи красивые, но давайте
посмотрим сразу сверхэффекты.
1. Положительные: тарелки /осколки/ из льда тают,
поверхность не загрязняется. Из земли - разваливаются.
Экологически все чисто.
2. Отрицательные:
- Требуется технология изготовления земляных и ледяных тарелок.
- Требуется разработка оборудования дл изготовления, хранения тарелок.
- Требуется изготовление камер для хранения.
- Переоборудование катапульт.
- На все это нужны затраты.
Сравнение плюсов и минусов может привести к выводу,
что минусы побеждают.
Однако, расход материала на тарелки тоже должен играть
роль. И если посчитать, сколько расходуется графита на тарелки
по всей стране, по всему миру, то очевидно, что обе
идеи имеют преимущество.
Однако, нам надо, желательно, найти решение, которое
сразу можно было бы внедрить, использовать. Пойдем снова с начала.
- Какие взаимодействия есть еще?
Дробь взаимодействует с тарелкой? Да. Тарелка летит по воздуху
и падает на землю. А что если она падает, но не на землю?
А куда?
- Посмотрим стандарты. Тарелка - это изделия? Инструмент?
Взаимодействие между тарелкой и землей должно отсутствовать.
Если поместить какую-то пленку, то можно собирать осколки
тарелок ежедневно, причем ведь целые тарелки летят далеко,
а осколки - нет. Так что площадь сбора осколков невелика.
А не разбитые тарелки можно собирать и использовать заново.
Можно посмотреть сверхэффекты. Все это внедремо мгновенно.
Посмотрим ИКР.
1. Тарелка сама исчезает после падения на землю.
2. Тарелка сама исчезает после стрельбы, не попадая на землю.
3. Тарелки нет, а функция ее выполняется. Чем? Приходит мысль -
копией. А может быть голографическим изображением?
Под ИКР1 - лед, земля.
Под ИКР2 - твердое тело, жидкое, газовое облако, изображение
- Посмотрим, какие есть взаимодействия.
1. Взаимодействие между тарелкой и катапультой.
2. Взаимодействие между тарелкой и дробью.
3. Тарелка - земля.
Третье взаимодействие мы посмотрели, а вот второе - нет.
Ведь не во все тарелки попадают. Часть тарелок падая,
разбивается, а это - задача? Как их собрать не давая биться?
А может дробь заменить, чтобы, например, все тарелки
оставались целыми, даже попадания в них дроби.
Например, тарелка остается целой, но при попадании в нее
дроби она дает сигнал, что в нее попали - например, световой,
звуковой, цветовой, газовый, радиосигнал. А что если
вообще заменить дробь - ружье - фоторужьем со снятием снимка -
попал - не попал. Фотография получается мгновенно.
Я прилег и во время подремывания увидел: а ведь после
выстрела тарелка не обязательно должна лететь дальше. И перед
моим взором появилась тарелка с парашютом.
Давайте пойдем снова по новому кругу, куда включим законы,
эффекты.
Посмотрим саму тарелку. А что, если ее сделать ввиде бумеранга?
По-видимому можно еще придумать интересные формы.
Не будем дальше решать эту задачу, но отметим, что даже теперь
можно выбирать решение и уточнять его.
Но посмотрите, какой спектр?! И это еще не все!
Что вы скажете о радиофицированной тарелке? Это тарелка
в виде бумеранга!
Конечно надо посмотреть сверхэффекты.
Теперь обратим внимание на такой факт. Все вопросы АРИЗ,
приведенные в таблице, можно менять местами, главное -
вы должны пользоваться канвой, а не жесткой последовательностью.
Отделом фотошаблонов разработана конструкция фотошаблонов
повышенной износостойкости. Достоинством конструкции
является малая вероятность повреждения фотошаблонов в процессе
эксплуатации и, как следствие этого, сохранение высокого
качества фотолитографии при контактной печати.
Опыт использования таких фотошаблонов в цехе
для межслойной изоляции ИС подтвердил повышение их срока службы
в 6-8 раз с одновременным повышением выхода годных ИС.
Конструкция фотошаблона представлена на рисунке-5.
Фотошаблон содержит два топологических слоя, разделенным
защитным стеклом, толщиной около 100мкм. При повреждении
поверхностного слоя внутренний слой продолжает осуществлять
функцию маскирования, и дефект на пластину не передается.
Налчие двух маскирующих слоев гарантирует отсутствие
дефектов малых размеров /менее 1,0мкм/, не обнаруживаемых
при контроле фотошаблонов.
Из технологических соображений окна во внутреннем слое
выполнены с увеличением размера на 25-30мкм, что накладывает
ограничение на номенклатуру фотошаблонов, выполняемых в
дублированной конструкции. Наиболее эффективно
использование конструкции для темнопольных фотошаблонов
с большим отношением площади темного поля к площади светлого
/межслойная изоляция, контактные окна, защитные слои и т.п./
Цехом ведется освоение производства дублированных
фотошаблонов.
Рис.5
-----
10-18 мкм
---------
стекло
------
хром
----
защитное стекло
---------------
дефект
------
пластина с
фоторезистором
--------------
выступ
------
Хотелось бы обратить внимание на один важный факт. Нас
иногда наши противники упрекают, что мы с помощью ТРИЗ не
сделали крупных, больших изобретений. Где эта мера? Что есть
большое? Что такое крупное изобретение, а что - мелкое?
Где эта граница?
Если смотреть с точки зрения экономики, то разница есть.
Громадное количество решенных задач дает милионный экономический
эффект. Тем не менее, новые машины, станки, приборы, как
правило, тризовцы не создают. Почему? Это связано со
многими причинами, но не с тем, что нельзя это сделать,
получить решение. Примеры автора ТРИЗ показывают, что
новый ледокол никто даже не хотел обсуждать. А новый метод
изготовления стекла?! Ведь даже не поняли, о чем идет речь!
Тем не менее, предлагается в каждой задаче находить идею
решения на новом принципе,- физическом, химическом,
геометрическом или биологическом.
Если есть возможность, то следует эти идеи столбить -
подавать заявки и рекламировать идеи. Это позволит
показать всю мощность ТРИЗ и ее пользователей.
Пример. Решая задачу по ДФШ, мы вышли на идею
проекционной фотолитографии, но о ней никто и слушать не хотел.
Для того, чтобы понять новое, нужно быть к этому новому,
его восприятию готовым. А это не просто.
И последний штрих. Учение - всегда преодаление себя,
насилие над собой. Можно говорить, не всегда, не со всеми.
Но в большинстве случаев это так. Как сделать так, чтобы
большая часть времени обучения ТРИЗ и последующего ее
применения составляло все же не насилие над собой, а
доставляло желание и радость? Мне кажется, что для этого следует
вызывать у слушателей положительные эмоции, интерес,
соревновательность, поощрение, игру, то есть добиваться в процессе
обучения более естественного решения хода задач, присущего
человеческому мышлению, но в рамках стратегии ТРИЗ.
Можно использовать чувства о которых мы говорили. Это
интерес, желание доказать окружающим свое "я", боязнь,
злость, доверие, оказание помощи ближнему, показать фокус,
сомнение... Все эти чувства, одни сильнее, другие - слабее,
позволяют человеку заставить самого себя решать задачи.
рассмотрим первый пример, как решить задачу с помощью
кругового АРИЗ.
1 2 3 4 5 6 7 8
! ! ! ! ! ! ! !
! ! ! ! ! ! ! !
Сделать рисунок ------------------------ --- 9
и выразить задачу ! задача в ве- ! --- 10
в вепольной форме ! польной форме ! --- 11
!______________________! --- 12
! ! ! ! ! ! ! !
! ! ! ! ! ! ! !
20 19 18 17 16 15 14 13
1. Определить конфликтную пару.
2. Определить ИКР(1), ИКР(2).
3. Определить НЭ и его природу. Сущность процесса, какими
свойствами обладают В1 и В2, взаимодействие.
4. Если есть решение - проверить сверхэффекты.
5. Использовать приемы и найти решение.
6. Использовать оператор РВС.
7. Нарисовать карикатуру.
8. Сформулировать ТП.
9. Оценить сверхэффекты.
10. Сформулировать ТП1 и ТП2.
11. Определить предельные ТП. Возможно ли найти решение
на новом принципе?
12. Какие взаимодействия еще есть ТС?
13. Рассмотреть + и - в альтернативных ТС.
14. Сформулировать ФП1 И ФП2.
15. Использовать стандарты на инструмент, изделие.
16. Решения оценить на сверхэффекты.
17. Метод Колумба или иной другой.
18. Рассмотреть законы.
19. Рассмотреть физические эффекты.
20. Рассмотреть линию развития ТС.
21. Решения оценить на сверхэффекты.
Рассмотрим задачу о тарелках, используемых в качестве
мишений для стрельбы.
Нежелательный эффект. Тарелка или ее части лежат на земле
и ее загрязняют.
КП - тарелка-земля В2-В3
ИКР - тарелка сама исчезает на земле
ИКР - земля сама способствует исчезновению тарелки
ИКР - окружающие тарелку поля - Птепл., Пвл. - сами заставляют
тарелку исчезнуть
- Тарелка не взаимодействует ни с чем, продолжая лежать годы,
т.к. она изготовлена из материала достаточно плотного,
твердого и надежного.
- Какими свойствами может обладать тарелка, кроме как
мишень?
- польза: удобрение для земли; семена трав; нейтральное
вещество; вещество, которое само распадается без вреда для пользы
Из этого перечня появляется мысль о самораспадающейся
тарелке.
- Сформулируем ТП и рассмотрим приемы
ТП-устойчивость состава обьекта - потери времени.
Прием 35 - изменить агрегатное состояние вещества.
Что это?
Все ИКР, свойства и ТП, направляют нашу мысль на изменение
агрегатного состояния. Вообще-то говоря, здесь уже появляется идея -
сделать тарелки из льда или из земли. Идеи красивые, но давайте
посмотрим сразу сверхэффекты.
1. Положительные: тарелки /осколки/ из льда тают,
поверхность не загрязняется. Из земли - разваливаются.
Экологически все чисто.
2. Отрицательные:
- Требуется технология изготовления земляных и ледяных тарелок.
- Требуется разработка оборудования дл изготовления, хранения тарелок.
- Требуется изготовление камер для хранения.
- Переоборудование катапульт.
- На все это нужны затраты.
Сравнение плюсов и минусов может привести к выводу,
что минусы побеждают.
Однако, расход материала на тарелки тоже должен играть
роль. И если посчитать, сколько расходуется графита на тарелки
по всей стране, по всему миру, то очевидно, что обе
идеи имеют преимущество.
Однако, нам надо, желательно, найти решение, которое
сразу можно было бы внедрить, использовать. Пойдем снова с начала.
- Какие взаимодействия есть еще?
Дробь взаимодействует с тарелкой? Да. Тарелка летит по воздуху
и падает на землю. А что если она падает, но не на землю?
А куда?
- Посмотрим стандарты. Тарелка - это изделия? Инструмент?
Взаимодействие между тарелкой и землей должно отсутствовать.
Если поместить какую-то пленку, то можно собирать осколки
тарелок ежедневно, причем ведь целые тарелки летят далеко,
а осколки - нет. Так что площадь сбора осколков невелика.
А не разбитые тарелки можно собирать и использовать заново.
Можно посмотреть сверхэффекты. Все это внедремо мгновенно.
Посмотрим ИКР.
1. Тарелка сама исчезает после падения на землю.
2. Тарелка сама исчезает после стрельбы, не попадая на землю.
3. Тарелки нет, а функция ее выполняется. Чем? Приходит мысль -
копией. А может быть голографическим изображением?
Под ИКР1 - лед, земля.
Под ИКР2 - твердое тело, жидкое, газовое облако, изображение
- Посмотрим, какие есть взаимодействия.
1. Взаимодействие между тарелкой и катапультой.
2. Взаимодействие между тарелкой и дробью.
3. Тарелка - земля.
Третье взаимодействие мы посмотрели, а вот второе - нет.
Ведь не во все тарелки попадают. Часть тарелок падая,
разбивается, а это - задача? Как их собрать не давая биться?
А может дробь заменить, чтобы, например, все тарелки
оставались целыми, даже попадания в них дроби.
Например, тарелка остается целой, но при попадании в нее
дроби она дает сигнал, что в нее попали - например, световой,
звуковой, цветовой, газовый, радиосигнал. А что если
вообще заменить дробь - ружье - фоторужьем со снятием снимка -
попал - не попал. Фотография получается мгновенно.
Я прилег и во время подремывания увидел: а ведь после
выстрела тарелка не обязательно должна лететь дальше. И перед
моим взором появилась тарелка с парашютом.
Давайте пойдем снова по новому кругу, куда включим законы,
эффекты.
Посмотрим саму тарелку. А что, если ее сделать ввиде бумеранга?
По-видимому можно еще придумать интересные формы.
Не будем дальше решать эту задачу, но отметим, что даже теперь
можно выбирать решение и уточнять его.
Но посмотрите, какой спектр?! И это еще не все!
Что вы скажете о радиофицированной тарелке? Это тарелка
в виде бумеранга!
Конечно надо посмотреть сверхэффекты.
Теперь обратим внимание на такой факт. Все вопросы АРИЗ,
приведенные в таблице, можно менять местами, главное -
вы должны пользоваться канвой, а не жесткой последовательностью.